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Die C6 Energiekette in Kombination mit dem neuen E-Spin Obertrumführungsrad ermöglicht eine zuverlässige Energie- und Datenversorgung bei minimaler Partikelemission – und das auf Verfahrwegen bis zu 30 m. Quelle: Igus SE & Co. KG

Reinraum-Energieführung bis 30 Meter: Igus C6-Energiekette mit E-Spin System erreicht ISO Klasse 1

Publiziert

Mit der neuen C6-Reinraumenergiekette und dem E-Spin Führungssystem bietet igus eine Lösung für Energie- und Datenversorgung auf Verfahrwegen bis 30 m bei minimaler Partikelemission. Die Kombination aus Hochleistungskunststoff und Rollenführung ist vom Fraunhofer IPA nach ISO Klasse 1 zertifiziert und adressiert Anwendungen in Halbleiter-, Batterie- und Pharmafertigung.

Ob in der Mikroelektronik, der Halbleiter- oder der Batteriefertigung, überall spielen Partikelfreiheit und Prozesssicherheit eine zentrale Rolle. Mit höherem Automatisierungsgrad und immer grösseren Anlagen werden auch die Wege für den Materialtransport länger. Für Konstrukteure stellt sich die Frage, wie sich Energie und Daten auf langen Strecken innerhalb von Reinräumen zuverlässig und partikelarm führen lassen. Stromschienen übertragen zwar Energie, aber keine Daten, klassische Energieketten erfordern oft aufwendige Absaugsysteme für Mikropartikel.

C6-Reinraumenergiekette mit E-Spin Führungssystem

Mit der vom Fraunhofer IPA nach ISO Klasse 1 zertifizierten C6‑Energiekette in Kombination mit dem neuen E-Spin Obertrumführungsrad präsentiert Igus nun eine Lösung für diese Aufgabenstellung. Das System ermöglicht eine kompakte und langlebige Energieführung in Reinräumen auf Verfahrwegen bis zu 30 m und adressiert damit unter anderem Overhead-Hoist-Transport-Systeme in der Halbleiterfertigung. Die C6‑Energiekette besteht aus tribologisch optimiertem Hochleistungskunststoff, der Abrieb reduziert und die Partikelemission auf ein Minimum begrenzt.

Energie- und Datenversorgung im OHT-System

In modernen Halbleiterfabriken transportieren Overhead Hoist Transport (OHT) Systeme Wafer-Kassetten über Schienen unter der Decke, um Reinraumfläche zu sparen. Die Versorgung dieser Systeme mit Energie und Daten erfordert Komponenten mit sehr geringer Partikelabgabe. «Stromschienen übertragen keine Daten und sind wartungsintensiv. Energieketten benötigen meist eine komplexe Absaugvorrichtung für Partikel. Der Bedarf an einer reinraumtauglichen, langlebigen und kostengünstigen Alternative ist in der Branche entsprechend gross», erklärt Kira Weller, Produktmanagerin E-Ketten und Reinraum-Expertin bei Igus.

Rollen statt Gleiten reduziert Abrieb

Um dieses Dilemma zu lösen, hat Igus für die C6‑Reinraumenergiekette das Führungssystem E-Spin entwickelt. Dabei kommen Führungsräder zum Einsatz, die – wie die Kette selbst – aus verschleissoptimiertem Hochleistungskunststoff bestehen. Die Räder sitzen zwischen Ober- und Untertrum der Energiekette. Dadurch rollen die Kettenglieder aufeinander, anstatt zu gleiten, was den Abrieb weiter reduziert und zusätzliche Partikelemission vermeidet. «Die Energieketten lassen sich dank des E-Spin Systems ohne Absaugeinheit in der Produktion innerhalb eines Reinraums nutzen. Konstrukteure reduzieren so bei der Energieführung von Transportsystemen die Komplexität und sparen dabei Kosten», sagt Kira Weller.

ISO Klasse 1 bei 0.5 m/s bestätigt

Die Kombination aus C6‑Energiekette und Führungsrädern ist durch den eingesetzten Hochleistungskunststoff abriebfest, wartungsarm und auf lange Lebensdauer ausgelegt. Labortests in Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer IPA zeigen, dass das System bei einer Geschwindigkeit von 0.5 m/s die höchste Reinraumklasse ISO 1 erreicht. Damit eignet sich die Lösung insbesondere für Anwendungen mit hoher Bewegungsfrequenz und langen Verfahrwegen in sensiblen Produktionsumgebungen, etwa in der Halbleiter-, Pharma- oder Medizintechnikfertigung.

Konfiguration über Online-Tool und Branchenfokus

Das Energiekettensystem lässt sich über den «E-Ketten Experten» auf der Website von Igus konfigurieren, sodass Anwender passende Ketten, Leitungen und Zubehör für ihre Reinraumanwendungen auswählen können. Igus erweitert damit sein Portfolio an Reinraumprodukten bis ISO Klasse 1.

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