Durchbruch in der Mikrofabrikation


Während die additive Fertigung in der Welt grosser Bauteile bereits Standard ist, hält sie nun auch Einzug in die Bereiche der Nano- und Mikrofabrikation und schliesst die bisherige Lücke zwischen der 3D-Laserlithografie und anderen 3D-Druckverfahren. Stossen herkömmliche Verfahren wie die Stereo lithografie bei Schichtdicken von 50 bis 150 μm an ihre Grenzen, kommt die noch relativ junge Technologie der 3D-Laserlithografie zum Zuge und entfaltet ihre vielfältigen Stärken auf der Mikro- bis Mesoskala.

Die Auflösung ist im Vergleich zur Stereolithografie etwa 10 bis 100 Mal so hoch, Strukturdetails von einem Mikrometer und kleiner sind hier Standard bei Oberflächenrauigkeit in optischer Qualität. Komplexe dreidimensionale Gebilde mit Strukturdetails bis hinunter zu 150 Nm können basierend auf der Technologie der Zwei-Photonen-Polymerisation auf einer Schreibfläche von bis zu 100 x100 mm2 aus UV-härtenden Kunststoffen geformt werden. Im Unterschied zu anderen 3D-Druckverfahren gibt es auf dieser Grössenordnung für viele Strukturdesigns keine adäquate Alternative. Übliche Verfahren bieten meist nicht die nötige Auflösung, um Kleinstteile wie sie etwa in der Medizintechnik, MEMS oder Elektronik benötigt werden, formtreu wiederzugeben. Der Photonic Professional GT ebnet somit gänzlich neue Perspektiven für wissenschaftliche und industrielle Applikationen.

Vielfältige Anwendungen
In weiteren Prozessschritten können die gedruckten 3D-Objekte als Master für die Abformung in metallische, halbleitende, anorganische oder organische Materialien dienen, zum Beispiel in Gold, Siliziumdioxid, Silizium oder PDMS. Hier wird unter anderem von der elektrischen Leitfähigkeit, den optischen oder mechanischen Eigenschaften oder auch der Biofunktionalität der Zielmaterialien Gebrauch gemacht.

Dank der nahezu unbegrenzten Designfreiheit und Individualisierungsmöglichkeiten sind die Einsatzgebiete der Nanoscribe Systeme äusserst vielfältig. Die Anwendungen reichen von der Herstellung dreidimensionaler Strukturen und künstlicher Materialien für die Optik und Photonik, über komplexe Strukturen für die Mikrofluidik bis hin zur Herstellung massgeschneiderter dreidimensionaler Template für biologisches Zellwachstum. Auch die Herstellung von Mikromaschinen, das Tissue Engineering oder der Einsatz in den Bereichen MEMS und Mikrorobotik werden immer bedeutender. Dazu nachfolgend ein paar Beispiele.

MEMS
MEMS (microelectromechanical systems) bezeichnet das Feld miniaturisierter, aufeinander abgestimmter Systeme bestehend aus Sensoren, Aktoren und Mikrostrukturen. Für Anwendungen in der Mikrorobotik bringt man zum Beispiel spezielle Mikrostrukturen in wässrige Medien ein, wodurch es möglich wird, diese mit optischen Pinzetten zu greifen und zu bewegen. Diese Funktion beruht darauf, dass stark fokussiertes Licht auf mikroskopische Objekte Kraft ausübt, die dadurch zum fokussierten Lichtstrahl gezogen werden. Forscher der ETH Zürich zeigten bereits, dass sich damit mikrooptische Objekte als eine Art optisch angeregte Mikroroboter frei im dreidimensionalen Raum bewegen lassen 1.

Die Mikrointegration ist derzeit eines der ökonomisch bedeutendsten Forschungsgebiete der Optik. Sie bezeichnet die drastische Kosten- und Bauraumreduzierung optischer Funktionselemente. Diese extrem leistungsfähigen optischen Schaltungen könnten in ein paar Jahren zum Standard in vielen Anwendungsbereichen wie zum Beispiel der Telekommunikation, Medizintechnik, Konsumelektronik oder auch der Anlagensteuerung werden. Im Rahmen der bundespolitischen «Hightech-Strategie 2020» ist Nanoscribe Mitglied des BMBF-Projektes «Phoibos-Photonische Wirebonds für optische Multi-Chip-Systeme». Erstmals ist Phoibos-Projektleiter Prof. Dr. Christian Koos vom Karlsruher Institut für Technologie (KIT) hier die optische Verdrahtung optoelektronischer Chips gelungen. Dabei wurden mikrometerkleine polymere Lichtwellenleiter, sogenannte photonische Wirebonds (PWB), direkt auf siliziumbasierten Komponenten realisiert. Entsprechend den jeweiligen Anforderungen können auf diese Weise optimal angepasste, optische Schnittstellen erzeugt werden, die die Basis für optische Multi-Chip-Module bilden.

Biowissenschaften und Medizintechnik
Auch im Bereich der Biowissenschaften und Medizintechnik hat sich der 3D-Druck aufgrund der nahezu unbegrenzten Designfreiheit, Variabilität und geringen Kosten bei der Einzelstückfertigung bereits zu einem Standardwerkzeug entwickelt. Denkt man in diesem Zusammenhang meist an additiv gefertigte Handprothesen oder Zahnersatz, so sollen in naher Zukunft insbesondere sehr kleine «menschlichen Bauteile» sowie körperähnliche Strukturen per 3D-Druck realisiert werden. Einer Forschungsgruppe des Italian Institute of Technology (IIT), Center for Micro-BioRobotics@SSSA ist es kürzlich gelungen, körperähnliche Knochenstrukturen, die durch ein μ-CT gewonnen wurden, mit einem Nanoscribe System «nachzudrucken» 2.

Nanoscribe GmbH, Eggenstein-Leopoldshafen (D)

Quellenverzeichnis
1 Hybrid Helical Magnetic Microrobots Obtained by 3D Template-Assisted Electrodeposition. M.A. Zeeshan, R. Grisch, E. Pellicer, K.M. Sivaraman, K.E. Peyer, J. Sort, B. Özkale, M.S. Sakar, B.J. Nelson, S. Pané, Small, Volume 10, Issue 7, pages 1284 bis 1288, (2014).
2 Biomimicry at the nanoscale: current research and perspectives of two-photon polymerization. A. Marino, C. Filippeschi, V. Mattoli, B. Mazzolai and G. Ciofani, Nanoscale, 2015, 07, 2815 bis 3320.



Community Führer Maschinen-, Metall, Elektro- und Elektronikindustrie der Schweiz 31 / 2017

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glug.swiss

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Europas wichtigster Branchenevent für die Wellpappen- und Faltschachtelindustrie.

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SINDEX

Schweizer Messe für industrielle Automatisierung

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Schweissen & Schneiden

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Drinktec Deutschland

Auf der Weltleitmesse der Getränke- und Liquid-Food-Industrie

Datum: 15.-19. September 2025

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Oils + fats

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Datum: 15.-19. September 2025

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Ilmac

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Swiss Medtech Expo

Fachmesse und Symposium: Inspiration, Weiterbildung und Netzwerk

Datum: 16. - 17. September 2025

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AM Expo

Fachmesse und Symposium: Inspiration, Weiterbildung und Netzwerk

Datum: 16.-17. September 2025

Ort: Luzern (CH)

EMO Hannover

Weltleitmesse für Werkzeugmaschinen und Metallbearbeitung

Datum: 22.-27. September 2025

Ort: Hannover (D)

CMS Berlin

Internationale Leitmesse für Reinigung und Hygiene

Datum: 23.-26. September 2025

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POWTECH

Pharma.Manufacturing.Excellence

Datum: 23. - 25. September 2025

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10. Schweisstec

Internationale Fachmesse für Fügetechnologie

Datum: 21.-24. Oktober 2025

Ort: Stuttgart (D)

A + A

Messe und Kongress für Arbeitsschutz und Arbeitssicherheit

Datum: 04.-07. November 2025

Ort: Düsseldorf (D)

productonica

Weltleitmesse für Entwicklung und Fertigung von Elektronik

Datum: 18.-21. November 2025

Ort: München (D)

AQUA Suisse

Die Schweizer Fachmesse für kommunales und industrielles Wassermanagement.

Datum: 26.-27. November 2025

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Pumps & Valves

Die Fachmesse für industrielle Pumpen, Armaturen & Prozesse

Datum: 26. - 27. November 2025

Ort: Zürich (CH)

Swiss Plastics Expo

Schweizer Fachmesse Kunststoffindustrie

Datum: 20.-22. Januar 2026

Ort: Luzern (CH)

wire Düsseldorf

Weltmarktführer und First Mover der Draht- und Kabelindustrie präsentieren ihre Innovationen in Maschinen, Anlagen und smarter Fertigung. Erleben Sie Innovationen.

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interpack

Führende Messe für Prozesse und Verpackung

Datum: 07.-13. Mai 2026

Ort: Düsseldorf (D)

GIFA

International Giesserei-Fachmesse mit Technical Forum

Datum: 21.-25. Juni 2027

Ort: Düsseldorf (D)

NEWCAST

Internationale Fachmesse für Gussprodukte mit Newcast Forum

Datum: 21.-25. Juni 2027

Ort: Düsseldorf (D)

Bezugsquellenverzeichnis